iltasyazilim
FD Üye
Kapasitif Sensör Devresi ,
Kapasitif Dedektör Nedir,
Kapasitif Sensör Devresi Hakkında Data
KAPASİTİF SENSÖRLER
Kapasitif girişim anahtarı bir kapasitörün elektrik alanına yaklaşan cismin niçin olduğu kapasite değişikliğini algılayan siviçtir Bu durumda elektromanyetik bölge içine yaklaşan bir cismin yarattığı 01 pF dolaylarındaki çok ufak kapasite değişimleri uygun olan bir yöntemle değerlendirilmeli ve bir sayısal sinyale dönüştürülmelidir
Silikon diyafram bir kapasitif algılayıcıda basınçtan elektriğe şekil değiştirme işleminde kullanılabilir Burada diyaframın yer değişimi referans plakasına (arka plaka) göre kapasitansta modülasyon meydana getirir Bu değişim bilhassa düşük basınçlı algılayıcılar için etkilidir Algılayıcının tamamının fabrikasyonu tek parça silikon kütleden yapılabilir böylelikle alıştırma kararlılığı maksimuma çıkartılabilir Diyaframın bütün aralık üzerinde %25 kapasitans üretecek şekilde tasarımlanması bu algılayıcılarının çıkışının ilk elden sayısal forma dönüştürülmesini basit ülkü getirir Bir piezorezistif diyaframın kenarlarında en fazla stres olacak şekilde tasarımlanması gerekirken kapasitif diyafram orta kısmındaki yer değişiminden yararlanır Bu diyaframlar diyaframın her iki kenarına yakın yerleştirilen mekanik durdurucular ile fazla basınçlara karşısında korunabilirler (örneğin bir fark basınç algılayıcısı) Maalesef piezorezistif diyaframlarda aynı koruma metodu egzersiz yer değişiminin minik olmasından dolayı en ince ayrıntısına kadar etkin olmamaktadır neticede piezorezistif algılayıcıların tipik delinme basınçları bütün skala aralığının yaklaşık 10 katı olurken kapasitif algılayıcılar fazla basınç durdurucuları veya sınırlayıcıları ile tam skala anma basıncının 1000 katına değin dayanabilirler Bu özellikle çok yüksek basınç palslerinin oluşabileceği düşük basınç uygulamalarında önemlidir
Bir basınç algılayıcısının tasarımı yapılırken iyi bir doğrusallık için diyaframın düzgünlüğünün korunması önemlidir Geleneksel olarak bu algılayıcılar sadece kalınlıklarından fazla daha eksik yer değişimleri için doğrusaldırlar doğrusal aralığı arttırmanın bir yolu mikromakine teknolojisi ile diyafram üzerinde kıvrımlı ve dalgalı yollar yapmaktadır Ek olarak kapasitörün paralel plaka aksiyonunu sürdürmesi için yüzeyi kabartmalı yapılır Kıvrımların ve kabartmaların kombinasyonu bütün skala da % 001 ’lik doğrusalsızlığa niçin olmaktadır Diyaframın öteki iki parça silikon aralarında sandviç gibi yerleştirilmiştir Üstteki silikon parça mekanik aşırı basınç durdurucu olarak atama yapar Aşağıdaki silikon parçası ise CMOS devresini ve kapasitörün arka plakasını üstünde taşır ve bununla birlikte öteki yönde aşırı basınç durdurucu olarak devir yapar Algılayıcının tamamı şekil 411a ’da görülmektedir Düz diyaframların genel olarak benzer ölçü ve kalınlıktaki kıvrımlı diyaframlara göre daha aklıselim olduğu düşünülmektedir bununla birlikte düzlem içindeki gerdirici streslerin varlığında kıvrımlar gerginliğin bir kısmını bırakma görevi yaparlar ve bu nedenle daha iyi hassaslık doğrusallık verirler
*
Kapasitif Dedektör Nedir,
Kapasitif Sensör Devresi Hakkında Data
KAPASİTİF SENSÖRLER
Kapasitif girişim anahtarı bir kapasitörün elektrik alanına yaklaşan cismin niçin olduğu kapasite değişikliğini algılayan siviçtir Bu durumda elektromanyetik bölge içine yaklaşan bir cismin yarattığı 01 pF dolaylarındaki çok ufak kapasite değişimleri uygun olan bir yöntemle değerlendirilmeli ve bir sayısal sinyale dönüştürülmelidir
Silikon diyafram bir kapasitif algılayıcıda basınçtan elektriğe şekil değiştirme işleminde kullanılabilir Burada diyaframın yer değişimi referans plakasına (arka plaka) göre kapasitansta modülasyon meydana getirir Bu değişim bilhassa düşük basınçlı algılayıcılar için etkilidir Algılayıcının tamamının fabrikasyonu tek parça silikon kütleden yapılabilir böylelikle alıştırma kararlılığı maksimuma çıkartılabilir Diyaframın bütün aralık üzerinde %25 kapasitans üretecek şekilde tasarımlanması bu algılayıcılarının çıkışının ilk elden sayısal forma dönüştürülmesini basit ülkü getirir Bir piezorezistif diyaframın kenarlarında en fazla stres olacak şekilde tasarımlanması gerekirken kapasitif diyafram orta kısmındaki yer değişiminden yararlanır Bu diyaframlar diyaframın her iki kenarına yakın yerleştirilen mekanik durdurucular ile fazla basınçlara karşısında korunabilirler (örneğin bir fark basınç algılayıcısı) Maalesef piezorezistif diyaframlarda aynı koruma metodu egzersiz yer değişiminin minik olmasından dolayı en ince ayrıntısına kadar etkin olmamaktadır neticede piezorezistif algılayıcıların tipik delinme basınçları bütün skala aralığının yaklaşık 10 katı olurken kapasitif algılayıcılar fazla basınç durdurucuları veya sınırlayıcıları ile tam skala anma basıncının 1000 katına değin dayanabilirler Bu özellikle çok yüksek basınç palslerinin oluşabileceği düşük basınç uygulamalarında önemlidir
Bir basınç algılayıcısının tasarımı yapılırken iyi bir doğrusallık için diyaframın düzgünlüğünün korunması önemlidir Geleneksel olarak bu algılayıcılar sadece kalınlıklarından fazla daha eksik yer değişimleri için doğrusaldırlar doğrusal aralığı arttırmanın bir yolu mikromakine teknolojisi ile diyafram üzerinde kıvrımlı ve dalgalı yollar yapmaktadır Ek olarak kapasitörün paralel plaka aksiyonunu sürdürmesi için yüzeyi kabartmalı yapılır Kıvrımların ve kabartmaların kombinasyonu bütün skala da % 001 ’lik doğrusalsızlığa niçin olmaktadır Diyaframın öteki iki parça silikon aralarında sandviç gibi yerleştirilmiştir Üstteki silikon parça mekanik aşırı basınç durdurucu olarak atama yapar Aşağıdaki silikon parçası ise CMOS devresini ve kapasitörün arka plakasını üstünde taşır ve bununla birlikte öteki yönde aşırı basınç durdurucu olarak devir yapar Algılayıcının tamamı şekil 411a ’da görülmektedir Düz diyaframların genel olarak benzer ölçü ve kalınlıktaki kıvrımlı diyaframlara göre daha aklıselim olduğu düşünülmektedir bununla birlikte düzlem içindeki gerdirici streslerin varlığında kıvrımlar gerginliğin bir kısmını bırakma görevi yaparlar ve bu nedenle daha iyi hassaslık doğrusallık verirler
*